上海計量技術創新成果榮獲國家科技進步獎一等獎

7月15日從上海市市場監管局獲悉，由上海市提名、同濟大學牽頭完成的《量子化光晶格常數的納米計量關鍵技術及集成電路應用》項目，榮獲2025年度國家科學技術進步獎一等獎。這是上海計量科技領域獲得的最高榮譽。

納米計量是集成電路等先進納米制造產業的“標尺”，是保障芯片制造可靠性的質量基礎和關鍵共性技術。項目團隊歷經20余年攻關，發明了具有完全自主知識產權的量子化光晶格常數納米計量新技術。項目共建立國家一級標準物質5項（含中國首個納米尺度下的角度標準物質），參與研制我國首批高端儀器裝備計量測評裝置，為集成電路等納米制造領域提供了校準和標定用的“精準標尺”。

據介紹，2024年1月，經市場監管總局批準，以同濟大學為承建主體的“國家集成電路微納檢測設備產業計量測試中心（上海）”正式籌建，成為全國集成電路領域首批建設的3家國家產業計量測試中心之一。獲批籌建后，上海市市場監管局支持該中心加快提升計量服務能力，加強產業專用計量測試技術、方法和設備的研究，為集成電路微納檢測設備企業提供“全產業鏈、全溯源鏈、全生命周期、有前瞻性”的計量測試服務；指導、審批該中心新建晶圓級國家二級標準物質3項，協調推動中心牽頭制定國家和地方計量技術規范2項，組織“揭榜掛帥”等形式供需對接促進計量技術轉化應用，持續健全產業計量測試服務體系。

近年來，上海圍繞現代化產業體系建設，持續加強計量服務產業能力。截至目前，已在核電儀器儀表、商用飛機、智能網聯汽車、民用航空發動機、海洋動力裝備、集成電路微納檢測設備等重點產業領域建立、籌建了6家國家產業計量測試中心及9家市級中心。